[发明专利]模具及其制备方法无效
申请号: | 200510101236.5 | 申请日: | 2005-11-11 |
公开(公告)号: | CN1962262A | 公开(公告)日: | 2007-05-16 |
发明(设计)人: | 陈杰良 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | B32B33/00 | 分类号: | B32B33/00;B32B5/14;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/34 |
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地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种模具及其制备方法。所述模具包括一基材及一形成在所述基材上的保护层,所述保护层包括依次形成在所述基材上的一粘附层、一渐变多层膜及一类金刚石碳薄膜;所述粘附层为铬、钛、硅、氮化铬、氮化钛、碳化硅或氮化硅的薄膜;所述渐变多层膜为N层结构,其中5≤N≤30,所述渐变多层膜每层中均包括类金刚石碳及一添加物,所述添加物包括铬、钛、硅、氮化铬、氮化钛、碳化硅或氮化硅中的一种或其混合物,从靠近所述粘附层的第一层至靠近所述类金刚石碳薄膜的第N层,其中添加物的含量依次降低。本发明的模具保护层与基材结合力强,抗腐蚀能力及耐磨性能优异。 | ||
搜索关键词: | 模具 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种模具,其包括一基材及一形成在所述基材上的保护层,其特征在于所述保护层包括依次形成在所述基材上的一粘附层、一渐变多层膜及一类金刚石碳薄膜;所述粘附层为铬、钛、硅、氮化铬、氮化钛、碳化硅或氮化硅的薄膜;所述渐变多层膜为N层结构,其中5≤N≤30,所述渐变多层膜每层中均包括类金刚石碳及一添加物,所述添加物包括铬、钛、硅、氮化铬、氮化钛、碳化硅或氮化硅中的一种或其混合物,从靠近所述粘附层的第一层至靠近所述类金刚石碳薄膜的第N层,其中添加物的含量依次降低。
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