[发明专利]一种有机发光显示器蒸镀用掩膜的电铸制作方法

摘要

本发明公开了一种有机发光显示器蒸镀用掩膜的电铸制作方法，依次有以下步骤：芯模准备→芯模前处理→贴膜→曝光→显影→除油→水洗，其特征在于：还依次有以下后续步骤：活化/钝化→水洗→电铸掩膜→水洗→褪膜→剥膜→丝网粘接→成品检测→成品包装。本发明采用电铸技术可以制作厚度在0.05mm以下的OLED蒸镀用高精度掩膜，由于是基于应用电化学的电沉积原理，通过在芯模上电沉积某一金属或合金，因此掩膜板开孔均匀一致，孔壁光滑无毛刺，无侧向腐蚀，有利于发光材料完全转移到ITO表面，显著提高制品精度，开孔公差达到±0.005mm，幅面为370mm×470mm的掩膜板的孔间位置公差仅为±0.008mm。

主权项

1.一种有机发光显示器蒸镀用掩膜的电铸制作方法，依次有以下步骤：芯模准备→芯模前处理→贴膜→曝光→显影→除油→水洗，其特征在于：还依次有以下后续步骤：活化/钝化→水洗→电铸掩膜→水洗→褪膜→剥膜→丝网粘接→成品检测→成品包装。