[发明专利]液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法无效
| 申请号： | 200510101701.5 | 申请日： | 2005-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN1790209A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 傅惠南;王晓红;区仲荣;陈东升 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G05D3/00 | 分类号： | G05D3/00;G05D3/10;F03B17/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510090广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法，该装置由弹性微位移机构与液体驱动控制机构通过连接链相连接组成，上述弹性微位移机构的弹簧和弹性微位移梁的一端分别固定于机体上，弹簧另一端与弹性微位移梁的另一端相连接，工作台及其夹具安装在弹性微位移梁的左端；上述液体驱动控制机构包括有浮室、浮室中含有液体、液体量的增加或减少通过固定在浮室上的液体计量和控制装置进行注入或抽取；上述液体驱动控制机构的标室置于浮室、并悬浮于液体之中，标室中含有液体，液体量的增加或减少通过固定在浮室上的液体计量和控制装置进行注入或抽取，该装置及方法能够方便地通过宏观位移或载荷大小的调整，达到有效的微观操作和控制要求。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 驱动 微小 位移 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体驱动式超微小位移控制装置，其特征在于：弹性微位移机构(1)与液体驱动控制机构(2)通过连接链(7)相连接组成，上述弹性微位移机构(1)包括微驱动工作台及其夹具(3)、弹性微位移梁(5)、弹簧(6)，弹簧(6)和弹性微位移梁(5)的一端分别固定于机体(4)上，弹簧(6)另一端与弹性微位移梁(5)的另一端相连接，工作台及其夹具(3)安装在弹性微位移梁(5)的左端，通过弹性微位移梁(5)和弹簧(6)联合作用使工作台(3)产生相应微位移或施加微载荷；上述液体驱动控制机构(2)包括有浮室(12)、浮室中含有比重为ρA的液体(14)、液体量的增加或减少通过固定在浮室(12)上的第一液体计量和控制装置(8)进行注入或抽取；上述液体驱动控制机构(2)的标室(10)置于浮室(12)、并悬浮于液体(14)之中，标室中含有比重为ρB的液体(13)，液体量的增加或减少通过固定在浮室(12)上的第二液体计量和控制装置(15)进行注入或抽取。
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