[发明专利]激光装置及激光系统

摘要

本发明涉及一种激光装置，包括：一第一激光源、一第二激光源、一双色镜及一柔性光波导。第一激光源发射激光穿透双色镜。柔性光波导具有一光输入端及一光输出端，第二激光源发射的激光经过该双色镜的作用后与第一激光源发射的激光从柔性光波导的光输入端进入柔性光波导内传播，并由光输出端出射至一工件。第一激光源可用于对一工件的表面进行检测，第二激光源可根据检测后的该工件表面的状况进行加工或修复，从而提高被加工后工件的良率。本发明还涉及一种采用上述激光装置的激光系统。

主权项

1.一种激光装置，其特征在于包括：一发射激光波长为第一波长的第一激光源；一发射激光波长为第二波长的第二激光源；一双色镜，第一激光源发射的激光穿透该双色镜；及一柔性光波导，该柔性光波导具有一光输入端及一光输出端，第二激光源发射的激光经过该双色镜的作用后与第一激光源发射的激光从柔性光波导的光输入端进入柔性光波导内传播，并由光输出端出射。