[发明专利]散热装置的制备方法无效
| 申请号： | 200510101803.7 | 申请日： | 2005-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN1971890A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 颜士杰 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/34 | 分类号： | H01L23/34;H01L23/373;G06F1/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种散热装置的制备方法，其包括步骤：提供一散热装置基体，该散热装置基体具有一表面；对该散热装置基体进行钝化处理，以便在该散热装置基体的一表面上形成一钝化层；在无氧环境中去除该表面上的钝化层；在无氧环境中于该表面上形成一催化剂层；采用化学气相沉积法在该催化剂层上生长碳纳米管，进而获取一散热装置。本发明通过将散热装置基体进行钝化处理，并在无氧环境中去除该散热装置一表面上的钝化层且在该表面上形成催化剂层以生长碳纳米管，其可有效防止该表面被氧化形成一导热性较差的氧化物层，从而使碳纳米管与散热装置基体具有较佳的热接触，接触热阻较小，进而使所制备的散热装置具有较佳的散热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种散热装置的制备方法，包括以下步骤：提供一散热装置基体，其具有一表面；对该散热装置基体进行钝化处理，以便在该表面上形成一钝化层；在无氧环境中去除该表面上的钝化层；在无氧环境中在该表面上形成一催化剂层；采用化学气相沉积法在该催化剂层上生长碳纳米管，进而获取一散热装置。
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