[发明专利]在模具上形成多层镀膜的装置及方法

摘要

本发明涉及一种在模具上形成多层膜的装置及方法。该形成多层膜的方法利用不同的靶材依次在模具上用交流磁控溅镀法形成一过渡层、一含氮类金刚石碳层、一含氮氢类金刚石碳层及一含氢类金刚石碳层，该过渡层包括一纳米黏结层及一纳米中间层。该制备多层镀膜的装置利用多个溅镀腔，可连续进行镀膜。使用本发明的装置及方法，可快速得膜层不易脱落，磨擦系数低，耐磨性佳，抗腐蚀性强的镀膜。

主权项

1.一种多层镀膜的制备装置，其包括一溅镀系统；该溅镀系统包括依次序设置的一第一真空腔、一第二真空腔、一第三真空腔、一第四真空腔、一第五真空腔，及依次分别设置在想邻两真空腔之间的一过渡层溅镀腔、一含氮类金刚石碳溅镀腔、一含氮氢类金刚石碳溅镀腔、一含氢类金刚石碳溅镀腔，各真空腔与溅镀腔之间以阀门实现连通与闭合；过渡层溅镀腔中设置有黏结层靶材及中间层靶材，该含氮类金刚石碳溅镀腔、该含氮氢类金刚石碳溅镀腔及该含氢类金刚石碳溅镀腔中设置有含碳靶材，所有溅镀腔中均包括惰性气体。