[发明专利]透明导电性金属氧化物膜与太阳能电池的形成方法无效
申请号: | 200510103411.4 | 申请日: | 2005-09-15 |
公开(公告)号: | CN1933191A | 公开(公告)日: | 2007-03-21 |
发明(设计)人: | 林锦华;锺源勇;黄永清;王文华 | 申请(专利权)人: | 允瞻通讯有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/288;H01L21/3205 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种透明导电性金属氧化物膜的形成方法,该透明导电性金属氧化物膜含有至少二种金属元素,这些金属元素的含量具有一摩尔比例。透明导电性金属氧化物膜的形成方法是先提供至少二种金属醇盐。然后,以上述的比例秤取金属醇盐,并加入醇类溶液,以形成混合溶液。接着,在混合溶液中加入水进行水合反应,以形成金属氧化物溶液。之后,将金属氧化物溶液涂布于一基材上。继之,对基材进行一干燥处理步骤,去除金属氧化物溶液中的醇类溶液,以形成透明导电性金属氧化物膜。 | ||
搜索关键词: | 透明 导电性 金属 氧化物 太阳能电池 形成 方法 | ||
【主权项】:
1、一种透明导电性金属氧化物膜的形成方法,该透明导电性金属氧化物膜含有至少二种金属元素,该些金属元素的含量具有一摩尔比例,其特征在于该形成方法包括:提供至少二种金属醇盐;以该摩尔比例秤取该些金属醇盐,并加入一溶液,以形成一混合溶液;在该混合溶液中加入水进行水合反应,以形成一金属氧化物溶胶;将该金属氧化物溶胶涂布于一基材上;以及对该基材进行一干燥处理步骤,去除该金属氧化物溶胶中的该溶液,以形成该透明导电性金属氧化物膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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