[发明专利]快闪记忆体与其制造方法有效

专利信息
申请号: 200510103417.1 申请日: 2005-09-15
公开(公告)号: CN1933159A 公开(公告)日: 2007-03-21
发明(设计)人: 何家骅;赖二琨 申请(专利权)人: 旺宏电子股份有限公司
主分类号: H01L27/105 分类号: H01L27/105;H01L27/112;H01L21/8239;H01L21/8246
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种快闪记忆体。此快闪记忆体包括位于基底中的第一源极/汲极区及第二源极/汲极区;位于第一源极/汲极区以及第二源极/汲极区间的基底上,并且邻接于第一源极/汲极区的第一浮置栅极;位于第一源极/汲极区以及第二源极/汲极区间的基底上,并且邻接于第二源极/汲极区的第二浮置栅极;位于第一浮置栅极及第二浮置栅极间的基底中的淡掺杂区;覆盖于第一浮置栅极以及第二浮置栅极上的控制栅极。其中第一浮置栅极与第二浮置栅极隔离。此快闪记忆体可以增加记忆密度并降低成本。
搜索关键词: 记忆体 与其 制造 方法
【主权项】:
1、一种快闪记忆体,适用于一基底,该快闪记忆体包括:一第一源极/汲极区及一第二源极/汲极区,位在该基底中;一第一浮置栅极,位在该第一源极/汲极区以及该第二源极/汲极区间的该基底上,且该第一浮置栅极邻接在该第一源极/汲极区;一第二浮置栅极,位在该第一源极/汲极区以及该第二源极/汲极区间的该基底上,且该第二浮置栅极邻接在该第二源极/汲极区;一淡掺杂区,位在该第一浮置栅极及该第二浮置栅极间的该基底中;以及一控制栅极,覆盖在该第一浮置栅极及该第二浮置栅极上。
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