[发明专利]振动检测和振动分析方法与设备及具有该设备的光刻设备有效
| 申请号： | 200510104061.3 | 申请日： | 2005-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN1749862A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | H·V·科克;K·基维特斯;R·范德拉亚克;J·M·库伊珀;G·范德佐;H·P·T·托斯马 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/00;G06F17/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;张志醒 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种通过下述步骤确定振动相关信息的方法：在投影平面的图像位置中投影空间图像；将所述空间图像的强度映射成图像图，所述图像图布置成包括采样位置坐标和在每个采样位置处的采样强度的值；测量通过狭缝图形接收的空间图像的强度，其中所述方法还包括：从所述图像图中确定所述图像图的斜率部分的检测位置；在所述斜率部分的检测位置，测量所述空间图像的暂时强度并且测量所述狭缝图形的相对位置和所述图像位置，所述狭缝图形的相对位置被测量为所述狭缝图形的位置相关数据；以及从所述空间图像的暂时强度中确定所述空间图像的振动相关信息。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 检测 分析 方法 设备 具有 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种振动相关信息确定的方法：在投影平面的图像位置中投影空间图像；将所述空间图像的强度映射成图像图，所述图像图布置成包括采样位置坐标和在每个采样位置处的采样强度的值；测量通过狭缝图形接收的空间图像的强度，其中所述方法还包括：从所述图像图中确定所述图像图的斜率部分的检测位置；在所述斜率部分的检测位置，测量所述空间图像的暂时强度并且测量所述狭缝图形的相对位置和所述图像位置，所述狭缝图形的相对位置被测量为所述狭缝图形的位置相关数据；以及从所述空间图像的暂时强度中确定所述空间图像的振动相关信息。
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