[发明专利]挥发性金属β－酮亚胺盐配合物

摘要

本文描述了含有铜、银、金、钴、钌、铑、铂、钯、镍、锇和/或铟的金属配合物，其制备及使用方法。在某些实施方案中，本文所述的金属配合物可以用作在基材上沉积金属或含金属的膜的前体，例如，通过原子层沉积或化学气相沉积方法沉积。

主权项

1.式(I)或(II)表示的配合物：其中，M为选自Cu、Au、Ag、Co、Ru、Rh、Pt、In、Pd、Ni、Os及其混合物的金属；其中R¹、R²、R³和R⁴彼此独立地为氢原子；具有C_nH_2n+1通式的烷基，其中n为1至20的数；具有C_nH_xF_y通式的氟代烷基，其中(x+y)的和等于(2n+1)的和，且n为1至20的数；具有(R⁵)₃Si通式的烷基硅烷，其中R⁵彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基、氟代烷基或酰胺；含有6至18个碳原子的芳基；含有6至18个碳原子的烷基取代的芳基；含有6至18个碳原子的氟代烷基取代的芳基；含有6至18个碳原子的氟代芳基；含有6至18个碳原子的烷基取代的氟代芳基；含有6至18个碳原子的氟代烷基取代的氟代芳基；具有(CH₂)_nO(C_mH_2m+1)通式的醚，其中n是1至20的数，且m为1至20的数；含有1至20个碳原子的烷氧基；含有1至20个碳原子的酰胺基团；卤原子；和硝基NO₂；其中L为配体，选自一氧化碳；含有2至20个碳原子的烷基腈；具有(R⁶)₃SiCN通式的甲硅烷基腈，其中R⁶彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基；含有1至20个碳原子的炔；具有(R⁷)₃SiCCR⁸通式的甲硅烷基炔，其中R⁷彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或酰胺，且R⁸彼此独立地为氢原子，含有1至20个碳原子的烷基或烷氧基；具有(R⁹)₃SiCCSi(R⁹)₃通式的双(甲硅烷基)炔，其中R⁹彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷氧基、烷基或酰胺；含有1至20个碳原子的烯烃；含有1至20个碳原子的二烯；含有1至20个碳原子的三烯；具有(R¹⁰)₃SiC(R¹⁷)C(R¹⁷)₂通式的甲硅烷基烯，其中R¹⁰彼此独立地为含有1至20个碳原子的酰胺、烷基或烷氧基，且R¹⁷彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基；具有(R¹¹)₃SiCR¹⁷CR¹⁷Si(R¹¹)₃通式的双(甲硅烷基)烯，其中R¹¹各自独立地为含有1至20个碳原子的烷基、烷氧基或含有1至20个碳原子的酰胺，且R¹⁷各自独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基；含有3至20个碳原子的丙二烯；具有(R¹²)₂CCC(R¹²)₂通式的丙二烯，其中，R¹²彼此独立地为氢原子、烷基、烷基硅烷，烷氧基硅烷或具有通式(R¹³)₃Si的酰氨基硅烷，其中R¹³彼此独立地为含有1至20个碳原子的酰胺、烷基或烷氧基；含有1至20个碳原子的烷基胩；具有(R¹⁴)₃SiNC通式的甲硅烷基胩，其中R¹⁴彼此独立地为含有1至20个碳原子的烷基；含有1至20个碳原子的烯丙基；具有(R¹⁵)₃SiC(R¹⁷)₂R¹⁷C(R¹⁷)₂通式的烯丙基硅烷，其中R¹⁵为含有1至20个碳原子的酰胺、烷基或烷氧基，且R¹⁷彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基；和具有(R¹⁶)₃SiC(R¹⁷)₂CR¹⁷CR¹⁷Si(R¹⁶)₃通式的双(甲硅烷基)烯丙基，其中R¹⁶含有1至20个碳原子，且R¹⁷彼此独立地为氢原子或含有1至20个碳原子的烷基；和其中M和L之间的有机金属键选自2个单键和1个单键。