[发明专利]用于使用机械响应操控的显示器存储器的装置及方法

摘要

一实例性MEMS干涉式调制器的实施例包括通过一气隙隔开的一可移动层与一固定层。一驱动方案使用行/列激励协议，所述行/列激励协议使施加至MEMS干涉式调制器的电压保持高于或低于将MEMS干涉式调制器置于一“滞后窗口”或“稳定窗口”内所需的电压范围。通过选择可优化MEMS干涉式调制器的激励及释放时间的机械设计特性，可实现MEMS干涉式调制器的稳定运行。某些会影响释放时间及激励时间的特性包括改变支柱间距、改变可移动层的内应力或张力、改变可移动层的厚度或成分、改变系链的笨重性、将可移动层穿孔及在固定层中设置通路。

主权项

1、一种MEMS装置，其包括：一包含一第一电极的固定层；一经构造以在一远离所述第一电极的第一位置与一靠近所述第一电极的第二位置之间移动的可移动层，在所述可移动层处于所述第一位置时，所述可移动层与所述固定层形成一空腔；及一连接至所述可移动层的第二电极，其中所述可移动层的移动是基于所述第一与第二电极之间的电压差，且所述可移动层构造成以一第一平均速率自所述第一位置移动至所述第二位置并以一第二平均速率自所述第二位置移动至所述第一位置，其中所述第一及第二平均速率不相同。