[发明专利]用于剥离光刻胶的组合物及薄膜晶体管阵列面板制造方法有效
| 申请号： | 200510105132.1 | 申请日： | 2005-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1752852A | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | 朴弘植;郑宗铉;尹锡壹;金圣培;金玮溶;许舜范;金柄郁 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光刻胶剥离剂，包括：约5wt％至20wt％的醇胺、约40wt％至70wt％的乙二醇醚、约20wt％至40wt％的N－甲基吡咯烷酮、以及约0.2wt％至6wt％的螯合剂。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 剥离 光刻 组合 薄膜晶体管 阵列 面板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶剥离剂，包括：约5wt％至约20wt％的醇胺；约40wt％至约70wt％的乙二醇醚；约20wt％至约40wt％的N-甲基吡咯烷酮；以及约0.2wt％至约6wt％的螯合剂。
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