[发明专利]制程控制方法及制程控制系统有效
| 申请号： | 200510105193.8 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1763674A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 廖元利 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02;G06F11/30;G06F15/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制程控制方法及制程控制系统，所述制造流程控制方法，用于半成加工物料的运输过程中进行检测，半成加工物料于运输过程中是以运输工具承载。通过检测的半成加工物料，则载入制程设备中。检测可包括限制检测、制程及设备检测以及加工程序比较检测。另外当载入端口以及标示读取器是设置于运输工具上时，检测还可包括制造执行系统进站检测。本发明可以有效的减少制程设备空置及半成加工物料等待处理的时间，进而提高制程效率。 | ||
| 搜索关键词： | 程控 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种制程控制方法，其特征在于，所述制程控制方法包括下列步骤：于至少一半成加工物料的运输过程中，对上述半成加工物料进行至少一检测，其中上述半成加工物料是承载于一运输工具中进行运输；以及将通过上述检测的上述半成加工物料，载入一制程设备中。
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