[发明专利]有机电致发光显示器及其薄膜晶体管阵列基板的制造方法

摘要

一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法，此方法是在覆盖于薄膜晶体管上的保护层中形成多个接触孔与多个凹槽。各凹槽具有底切轮廓，而各接触孔是暴露出其所对应的薄膜晶体管的漏极金属层。然后，在保护层上形成透明导电层，此透明导电层是填入这些接触孔而与漏极金属层电连接。而且，透明导电层在这些凹槽处自动分离而形成多个像素电极。由此可知，此方法无须利用光刻及蚀刻工艺即可形成多个像素电极，因此可以节省工艺成本。

主权项

1.一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法，其特征是包括：提供基板，该基板上具有多个像素区域，且该基板上已形成有保护层与多个薄膜晶体管，其中该保护层是覆盖于上述这些薄膜晶体管上，而各该薄膜晶体管包括源极金属层与漏极金属层；于该保护层中形成多个接触孔以及多个凹槽，其中各该凹槽具有底切轮廓，且上述这些凹槽是位于上述这些像素区域之间，而各该接触孔是暴露出对应的上述这些薄膜晶体管其中之一的该漏极金属层；以及于该保护层上形成透明导电层，其中该透明导电层是填入上述这些接触孔而与上述这些薄膜晶体管的上述这些漏极金属层电连接，且该透明导电层在上述这些凹槽处自动分离，而形成多个像素电极。