[发明专利]压电振动片和压电器件无效
申请号: | 200510105355.8 | 申请日: | 2005-09-23 |
公开(公告)号: | CN1753304A | 公开(公告)日: | 2006-03-29 |
发明(设计)人: | 棚谷英雄 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H03B5/32;G01C19/56;G01P9/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种能够在小型化的基础上实现稳定的弯曲振动,并且将CI值抑制得较低的压电振动片和使用这种压电振动片的压电器件。该压电振动片具有:由压电材料形成的基部(51);与所述基部形成为一体的相互平行地延伸的多个振动臂(35、36);沿着所述各个振动臂的长度方向形成的长槽(33、34);和形成于所述长槽中的驱动用电极,所述各个振动臂的宽度尺寸从所述基部侧向着前端侧逐渐缩小,并且在所述前端侧具有所述宽度尺寸变为增加的宽度变化变更点P,所述变更点P位于比所述长槽的前端部更靠近臂前端侧的位置。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动 器件 | ||
【主权项】:
1.一种压电振动片,其特征在于,具有:由压电材料形成的基部;与所述基部形成为一体的相互平行地延伸的多个振动臂;沿着所述各个振动臂的长度方向形成的长槽;和形成于所述长槽中的驱动用电极,所述各个振动臂的宽度尺寸从所述基部侧向着前端侧逐渐缩小,并且在所述前端侧具有所述宽度尺寸变为增加的宽度变化变更点P,所述变更点P位于比所述长槽的前端部更靠近臂前端侧的位置。
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