[发明专利]用于光学机械检查的转换机构有效
| 申请号： | 200510105980.2 | 申请日： | 2005-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1758019A | 公开（公告）日： | 2006-04-12 |
| 发明（设计）人： | 高内加阿吉特;湋多森盖瑞彼得 | 申请（专利权）人： | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 新加坡新加*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于相对于待检查物体移动光学机械检查系统的光学元件的装置，其使用线性驱动机构，该机构包含有安装在磁场中的线圈，该磁场由磁性组件产生。一转换平台和所述的线圈和磁性组件中的一个相连，藉此该转换平台被配置来相对于所述的线圈和磁性组件中的另一个移动，该转换平台的移动被设置来沿着一平面，该平面基本垂直于入射光线的方向。该入射光线由一光源通过该光学元件投射到该物体上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 机械 检查 转换 机构 | ||
【主权项】：
1、一种用于相对于待检查物体移动光学机械检查系统的光学元件的装置，其包含有：光源，其通过该光学元件有效投射入射光线到该物体上；线性驱动机构，其包含有安装在磁场中的线圈，该磁场由磁性组件产生；转换平台，其和所述的线圈和磁性组件中的一个相连，藉此该转换平台被配置来相对于所述的线圈和磁性组件中的另一个沿着一平面移动，该平面基本垂直于所述的入射光线的方向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先进科技新加坡有限公司，未经先进科技新加坡有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510105980.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
