[发明专利]具有互补斜边以于其间形成倾斜间隙的多靶材牌有效

专利信息
申请号: 200510106397.3 申请日: 2005-09-19
公开(公告)号: CN1869280A 公开(公告)日: 2006-11-29
发明(设计)人: 细川昭博;希恩·明·胡·勒 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 上海新高专利商标代理有限公司 代理人: 楼仙英
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 可应用于靶组件中的靶材牌组由多靶材牌(30)组成,这些多靶材牌以一阵列的形式结合至一另一材料的背撑板(24)上。在该阵列中的这些靶材牌的边缘(32,34)具有互补斜边,以在这些靶材牌之间形成倾斜间隙(36)。这些间隙相对于该靶材法线倾斜一介于10度至55度之间的角度,较佳为15度至45度之间。对于垂直及倾斜间隙两者而言,这些靶材牌的面对侧可通过喷砂而被粗糙化。对于垂直及倾斜间隙两者而言,在间隙底下的该背撑板区域(48)可被粗糙化或可被涂覆或用一靶材材料的区域覆盖。
搜索关键词: 具有 互补 斜边 其间 形成 倾斜 间隙 多靶材牌
【主权项】:
1.一种至少包含若干个具有溅镀材料的靶材牌的靶材牌组(target tile set),这些靶材牌可被组合成一阵列,其相邻的靶材牌具有相邻边,这些相邻边被倾斜成为互补角,以在相邻边之间形成一个或多个倾斜的间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司,未经应用材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200510106397.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top