[发明专利]具有互补斜边以于其间形成倾斜间隙的多靶材牌有效
申请号: | 200510106397.3 | 申请日: | 2005-09-19 |
公开(公告)号: | CN1869280A | 公开(公告)日: | 2006-11-29 |
发明(设计)人: | 细川昭博;希恩·明·胡·勒 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 楼仙英 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 可应用于靶组件中的靶材牌组由多靶材牌(30)组成,这些多靶材牌以一阵列的形式结合至一另一材料的背撑板(24)上。在该阵列中的这些靶材牌的边缘(32,34)具有互补斜边,以在这些靶材牌之间形成倾斜间隙(36)。这些间隙相对于该靶材法线倾斜一介于10度至55度之间的角度,较佳为15度至45度之间。对于垂直及倾斜间隙两者而言,这些靶材牌的面对侧可通过喷砂而被粗糙化。对于垂直及倾斜间隙两者而言,在间隙底下的该背撑板区域(48)可被粗糙化或可被涂覆或用一靶材材料的区域覆盖。 | ||
搜索关键词: | 具有 互补 斜边 其间 形成 倾斜 间隙 多靶材牌 | ||
【主权项】:
1.一种至少包含若干个具有溅镀材料的靶材牌的靶材牌组(target tile set),这些靶材牌可被组合成一阵列,其相邻的靶材牌具有相邻边,这些相邻边被倾斜成为互补角,以在相邻边之间形成一个或多个倾斜的间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司,未经应用材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200510106397.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类