[发明专利]非挥发性存储器及其制造方法

摘要

一种的非挥发性存储器的制造方法与结构。首先，于基底上形成多条升起式位线，此些升起式位线为平行排列，并往同一方向延伸。接着，于基底上形成一电荷陷入层。然后，再形成多条字线，且此些字线平行设置于升起式位线上，并填满该些升起式位线之间的间隙，此外，该些字线往另一方向延伸，而此方向与升起式位线的方向交错。此非挥发性存储器由于采用升起式位线的设计，因此可避免埋入式位线因热工艺造成的掺杂物热扩散问题。

主权项

1、一种非挥发性存储器，包括：一基底；多条升起式位线，平行设置于该基底上，并往一第一方向延伸；多条字线，该些字线往一第二方向平行延伸并横跨于该些升起式位线之上，该第一方向与该第二方向交错；以及一电荷陷入层，设置于该些字线下方，并于该第二方向阻绝该些升起式位线的掺杂物扩散。