[发明专利]引线接合器无效
申请号: | 200510107076.5 | 申请日: | 2005-09-29 |
公开(公告)号: | CN1770413A | 公开(公告)日: | 2006-05-10 |
发明(设计)人: | 梅尔廷·梅尔策 | 申请(专利权)人: | 优利讯国际贸易有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陆弋;谢丽娜 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 一种引线接合器,包括连接台(1)和布置在连接台(1)上并可在水平轴线上旋转的摇杆(8)。具有凸缘(18)的电极(9)连接到摇杆(8)上,在所述电极(9)中夹持有毛细管(10)。至少一个传感器(22)连接到连接台(1)上,检测连接台(1)的振动,在电极(9)和摇杆(8)之间布置有至少一个致动器(13;14;15),所述致动器能使电极(9)相对于摇杆(8)移动。控制装置(26)根据该至少一个传感器(22)提供的输出信号计算出对应该至少一个致动器(13;14;15)的控制信号并驱动该至少一个致动器(13;14;15),从而消除或至少降低所述电极(9)的振动。该至少一个传感器(22)优选是布置在摇杆(8)上,而且优选是加速度传感器。 | ||
搜索关键词: | 引线 接合 | ||
【主权项】:
1.一种引线接合器,包括连接台(1),所述连接台(1)包括布置在其上的摇杆(8),所述摇杆(8)可在水平轴线上旋转,电极(9),所述电极(9)具有用于将所述电极(9)连接到所述摇杆(8)上的凸缘(18),被夹持在所述电极(9)中的毛细管(10),至少一个传感器(22),其提供至少一个表示所述连接台(1)的预定振动的输出信号,至少一个布置在所述电极(9)和摇杆(8)之间的致动器(13;14;15),所述致动器(13;14;15)能使所述电极(9)相对于所述摇杆(8)移动,以及控制装置(26),其从所述至少一个传感器(22)提供的至少一个输出信号中计算出对所述至少一个致动器(13;14;15)的控制信号并驱动所述至少一个致动器(13;14;15),从而消除或至少降低所述电极(9)的振动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造