[发明专利]具有罗茨转子和螺旋转子的组合干式真空泵有效
| 申请号： | 200510108223.0 | 申请日： | 2005-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1755120A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 林文基 | 申请（专利权）人： | LOTVacuum株式会社 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C23/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于将半导体或显示器制造装置中的加工室抽真空、或用于抽出加工室中产生的气体物质和/或副产品的干式真空泵。该干式真空泵不需要罗茨转子和螺旋转子之间的隔板。在该干式真空泵中，空间形成于罗茨转子和螺旋转子的下侧之中连接到罗茨转子的部分上，以保持目标物质在其中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 转子 螺旋 组合 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种组合干式真空泵，包括：在一侧形成有用于吸入目标物质的吸入口(12)，而在相反侧形成有用于排出目标物质的排出口(20)的圆筒外壳(10)；包含在外壳(10)内并与所述吸入口(12)连通的罗茨转子(14)；包含在外壳内(10)并靠近罗茨转子(14)设置的螺旋转子(18)；穿过所述罗茨转子(14)和所述螺旋转子(18)之间的中部固定，并从外部以密封状态旋转固定到外壳(10)上的轴(24)；以及安装在外壳(10)的外部以驱动所述罗茨转子(14)和所述螺旋转子(18)，使之与所述轴(24)连接旋转的驱动电机(26)，其中，空间(16、16′)形成于连接到通过所述罗茨转子(14)和所述螺旋转子(18)的下侧之中的所述罗茨转子(14)的部分上以保持目标物质。
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