[发明专利]一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置

摘要

本发明公开了一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置，该装置包括基片，基片上覆盖有待测铁电薄膜，待测铁电薄膜上设有共面波导线，该共面波导线包括主传输线和主传输线两侧被缝隙隔开的接地面，所述待测铁电薄膜上还设有1/4波长共面开路线，该1/4波长共面开路线包括传输线和传输线两侧被缝隙隔开的接地面，传输线末端为开路端，该传输线与所述共面波导线上的主传输线相连接。由于本发明的共面波导线上连接有1/4波长共面开路线，利用1/4波长共面开路线所形成的谐振峰可方便地得到待测薄膜的介电特性，并且利用平面工艺可以一次形成检测铁电薄膜时所需要的图形。因此，与现有技术相比，本发明的技术方案结构原理简单、器件制作及装配容易、方便实用。

主权项

1、一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：(一)在基片表面沉积待测铁电薄膜；(二)用磁控溅射的方法在待测铁电薄膜上镀金属薄膜，该金属薄膜形成共面波导线和1/4波长共面开路线，该1/4波长共面开路线包括传输线和传输线两侧被缝隙隔开的接地面，传输线末端为开路端，该传输线与所述共面波导线上的主传输线相连接；(三)在待测铁电薄膜上加电压，改变待测薄膜的介电常数和介电损耗，并利用网络分析仪对待测薄膜的介电常数、介电损耗取等差数列的形式进行仿真；(四)从仿真得到的谐振曲线上得出不同的介电常数对应不同的谐振频率值，介电常数与谐振频率值之间遵从线性关系，把测量得到的谐振频率值代入所求得的介电常数与谐振频率的关系曲线中，即可得到待测的铁电薄膜的介电常数值；从仿真得到的谐振曲线上得出不同的介电损耗对应不同谐振曲线的Q值，介电损耗与谐振曲线的Q值之间遵从一定的函数关系，把测量得到的谐振曲线的Q值代入通过仿真得到的介电损耗与谐振曲线的Q值之间的关系曲线中，即可得到待测铁电薄膜的介电损耗值。