[发明专利]形成具有很少条纹的抛光垫的方法有效
| 申请号： | 200510108493.1 | 申请日： | 2005-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1754657A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | J·P·克特斯;A·E·莱文顿;K·－E·诺顿;S·J·诺韦伯;M·W·罗伯逊;A·H·赛金 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304;B29D7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种形成化学机械抛光垫的方法，该方法包括：提供一种装有聚合材料的容器；提供一种装有微球体的储料斗，所述微球体具有初始体积密度，其中储料斗还包括安装在增压室上面的多孔膜；本发明还提供了以下步骤：通过进气管道将流态化气源与所述增压室相连，向增压室内通入气体，使微球体流态化，减小初始体积密度。另外本发明还提供了以下步骤：提供用于将所述聚合材料和微球体输送到混合器的输送系统，形成聚合材料与微球体的混合物，将该混合物注入模子内形成模制产品，将模制产品切割成抛光垫。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 具有 很少 条纹 抛光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成化学机械抛光垫的方法，包括：提供一种装有聚合材料的容器；提供一种装有微球体的储料斗，所述微球体具有初始体积密度，其中储料斗还包括安装在增压室上面的多孔膜；通过进气管道将流态化气源与所述增压室相连；向所述增压室内加入气体，使微球体流态化，减小初始体积密度；提供用于将所述聚合材料和微球体输送到混合器的输送系统；形成所述聚合材料与所述微球体的混合物；将所述混合物注入模子内形成模制产品；将所述模制产品切割成抛光垫。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司，未经罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510108493.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：管材试压机
- 下一篇：一种超细疏水性二氧化硅的制取方法
