[发明专利]平版印刷设备和装置制造方法

摘要

为了使平版印刷设备的图案支架或衬底台能够具有高加速度和高移动速度，该图案支架和衬底台之一由一个用于相当大的位移的驱动器支承，而省去一个用于精确安置的驱动器。该图案支架和衬底台中的另一个由一个驱动器组件支承，该组件包括一个用于精确安置的驱动器和一个用于相当大的位移的驱动器。通过提供这样一种控制系统而获得图案形成装置和衬底的精确对准，该控制系统适合于安置图案支架和衬底台中的另一个，使得图案支架和衬底台之一的定位误差受到另一个的安置的补偿。

主权项

1.一种平版印刷设备，包括：(a)一个被配置来调节一辐射光束的照射系统；(b)一个被构造来支承一图案形成装置的图案支架，该图案形成装置能传递具有其截面图案的辐射光束，以形成一构成图案的辐射光束该图案支架被一第一驱动器组件可移动地支承，该第一驱动器组件包括一个长行程驱动器，后者被配置来相对于一固定的参考点定位该图案形成装置；(c)一个被构造来保持一衬底的衬底台，该衬底台由一第二驱动器组件可移动地支承，该第二驱动器组件包括一个被配置来相对于该固定的参考点定位该衬底的长行程驱动器和短行程驱动器；(d)一个投射系统，被配置来将构造图案的辐射光束投射到该衬底的目标部分上；以及(e)一个控制系统；包括：(i)一个测定系统，被配置来测定所述图案构成装置的实际位置；以及(ii)按操作关系连接在所述测定系统、所述第一驱动器组件和所述第二驱动器组件上的控制电路，该控制电路被配置来：定位所述图案形成装置，以获得一个所希望的图案位置；通过比较所述所希望的图案位置和所述图案形成装置的所述实际位置来测定一个图案定位误差；测定一个所希望的衬底位置来基本上补偿所述图案定位误差；以及将所述衬底定位在所述所希望的衬底位置上。