[发明专利]物体尺寸量测系统及方法有效
| 申请号： | 200510108780.2 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1940468A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 郑凯宇;陈彦良;徐祥瀚;陈怡菁;蓝玉屏 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G02F1/13 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种物体尺寸量测系统，包含：第一共焦显微量测装置、第二共焦显微量测装置及位移装置，该第一及第二共焦显微量测装置分别配置于待测物的待测尺寸方向的第一及第二两侧端面且其两共焦显微量测装置的第一物镜分别面向该待测物的两端面，其中该第二共焦显微量测装置的第一物镜载置于该位移装置上并随该位移装置的轴向移动而接近或远离该物镜所面向的待测物端面。本发明并进一步提供一种应用于前述量测系统的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 尺寸 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种物体尺寸量测系统，包含：第一共焦显微量测装置、第二共焦显微量测装置及位移装置，该第一及第二共焦显微量测装置对称于待测物厚度方向分别配置，其中该第二共焦显微量测装置的物镜载置于该位移装置上并随该位移装置的轴向移动而接近或远离该物镜所面向的待测物的端面。
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