[发明专利]用于泵送高粘度流体的装置和方法无效
| 申请号： | 200510108836.4 | 申请日： | 2000-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1782371A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 格雷格·吉布森 | 申请（专利权）人： | 米克罗利斯公司 |
| 主分类号： | F04B23/04 | 分类号： | F04B23/04;F04B39/16;F04B43/02;F04B53/10;B01D35/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于分配和过滤流体的系统，其中，流体流动路径从流体入口通过流体分配部分基本垂直。基本上所有润湿表面为特氟隆或一些类似的无污染材料，以用于如洁净室处理的用途。阀和过滤腔室合并到泵头部内，以简化流动路径并减少潜在的污染点，也公开了优选的方法以及由该装置或方法制造的芯片或其他微电子器件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 泵送高 粘度 流体 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于过滤和分配流体的方法，包括以下步骤：提供一体形成于第一泵送元件的上头部内的阀装置；所述阀装置构造成接收所使用流体并从所述第一泵送元件在基本向上的路径中引导该流体；致动所述第一泵送元件以将所使用流体从流体源吸入；以及进一步致动所述第一泵送元件，以将所使用流体从所述第一泵送元件向上分配；基本上所有被所使用流体润湿的表面由相对无污染材料制造或由该材料涂敷。
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