[发明专利]基于金刚石薄膜的微通道式散热器无效
| 申请号： | 200510110206.0 | 申请日： | 2005-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1794444A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 丁桂甫;王艳;张东梅 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L23/36 | 分类号： | H01L23/36;H01L23/473;H01L23/34;H05K7/20;G06F1/20 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于金刚石薄膜的微通道式散热器，基底两边分别开有横向导入主管道及横向导出主管道，微通道基本组成单元平行间隔排布在横向导入主管道和横向导出主管道之间，每个微通道基本组成单元中，纵向导入分管道的进口与横向导入主管道连通，纵向导出分管道的出口与横向导出主管道连通，纵向导入分管道与纵向导出分管道之间均匀排布横向连通管道。横向导入主管道的进口及横向导出主管道的出口与外部工作流体供给系统相连，构成工作流体循环回路。金刚石薄膜散热板平整上表面粘接热源器件，粗糙下表面与基底上表面通过键合层键合。本发明借助金刚石薄膜散热板的高热导率特性减小散热器热阻，通过工作流体沿纵横方向的均布流动，实现高效率均匀热交换。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金刚石 薄膜 通道 散热器 | ||
【主权项】：
1、一种基于金刚石薄膜的微通道式散热器，包括基底(1)，键合层(2)和散热板，其特征在于还包括横向导入主管道(4)，横向导出主管道(8)，以及由纵向导入分管道(5)、横向连通管道(6)、纵向导出分管道(7)构成的微通道基本组成单元(9)，在基底(1)的两边分别开有横向导入主管道(4)及横向导出主管道(8)，微通道基本组成单元(9)平行间隔排布在横向导入主管道(4)和横向导出主管道(8)之间；每个微通道基本组成单元(9)中，纵向导入分管道(5)的进口与横向导入主管道(4)连通，纵向导出分管道(7)的出口与横向导出主管道(8)连通，在纵向导入分管道(5)与纵向导出分管道(7)之间均匀排布横向连通管道(6)，横向导入主管道(4)的进口及横向导出主管道(8)的出口与外部的工作流体供给系统相连，构成工作流体循环回路；所述散热板为采用热丝化学气相沉积方法在抛光硅片上制备而成的金刚石薄膜散热板(3)，金刚石薄膜散热板(3)的下表面为制备金刚石薄膜时产生的粗糙生长面，通过键合层(2)与基底(1)的上表面键合，封闭微通道系统，金刚石薄膜散热板(3)的上表面为与抛光硅片的平整结合面，与热源器件直接粘接。
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