[发明专利]一种柔性复合铁电薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200510110555.2 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1966764A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 翟继卫;徐金宝 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C23C18/02 | 分类号： | C23C18/02;C23C18/12;H01L21/02;H01L27/13;H01L31/0392;H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟;沈锡英 |
| 地址： | 200092上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于一种低温制备具有柔性基底的复合铁电薄膜及其制备方法领域。本发明所述的柔性复合铁电薄膜的制备方法如下：采用溶胶凝胶的方法配制前驱体溶液，然后旋转涂覆在柔性基片上，将涂覆好的薄膜浸渍在90－300℃的水热环境中热处理10～30小时，最后溅射上电极即可。本发明利用溶胶凝胶与水热处理相结合的方法，水热反应条件比较温和、能耗较低、适用性广，同时可以通过对反应温度、时间和压力，溶液的组成以及溶液pH值等因素的调节有效的控制反应和晶体生长进程，从而得到理想的材料，可用于制备电路器件和特殊的生物医学材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种柔性复合铁电薄膜的制备方法，其步骤如下：采用溶胶凝胶的方法配制前驱体溶液，然后将前驱体溶液旋转涂覆在柔性基片上，将涂覆好的薄膜浸渍在90-300℃的水热溶液中热处理10～30小时，最后溅射上电极。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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