[发明专利]氮化镓基光子晶体激光二极管有效
| 申请号： | 200510110629.2 | 申请日： | 2005-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN1776976A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 陆卫;王少伟;夏长生;李宁;李志锋;张波;陈平平;陈效双;陈明法 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所;上海蓝宝光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/00 | 分类号： | H01S5/00;H01S5/10;H01S5/323;H01S5/343 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 田申荣 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓基光子晶体激光二极管，该激光二极管由在衬底上周期分布的二维光子晶体光学微腔构成。它的优点是：由于微腔采用光子晶体结构设计，形成一系列三维受限的微腔，在平面内两个维度方向都受到光子晶体结构的强烈限制，因此光会从这些微腔的垂直方向上发射出来。由于这种结构的激光只从各个微腔区域发出，占材料的总面积小，微腔中含有缺陷的几率明显下降，而微腔区域之外的光子晶体结构虽然含有缺陷，但对整个器件的发光性能基本没影响，从而明显降低器件对材料晶体质量的要求，尤其是缺陷密度。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 光子 晶体 激光二极管 | ||
【主权项】：
1.一种氮化镓基光子晶体激光二极管，包括：衬底(1)，其特征在于：在衬底(1)上置有与衬底牢固结合的周期分布的光学微腔(2)；所说的光学微腔(2)是由在背景材料上通过刻蚀的方法在其四周形成呈三角格子周期性分布的圆柱形空气柱(201)构成的；所说的光学微腔区域之外的背景材料注入有剂量范围为1012～1015cm-2的N或Ga离子；所说的圆柱形空气柱(201)的深度为背景材料的厚度。
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