[发明专利]磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺无效
| 申请号： | 200510110656.X | 申请日： | 2005-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1776365A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;陈文元;刘武;赵小林 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/02 | 分类号： | G01C19/02;G01C19/08;G01C19/42;G01P9/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层，两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面，电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面，环形线圈层设置在另一个绝缘材料层的外表面，电极层中心设置公共电极，从内向外依次设置扇形检测加矩电极、扇形旋转电极；下定子结构与上定子相同，也设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层；转子为外齿转子或者内含齿转子。本发明解决了上述背景技术中的问题，集成了大的悬浮转子陀螺精度高和MEMS微陀螺成本低、可批量化的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 磁场 可控 稳定 悬浮 转子 陀螺 | ||
【主权项】：
1、一种磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，包括：上定子(1)、转子(2)、下定子(3)、支撑环(4)，其特征在于，上定子(1)上设置电极层(6)、绝缘支撑层(5、8)、介磁材料层(9)、环形线圈层(7)，绝缘支撑层(5、8)设置在介磁材料层(9)的上下表面，电极层(6)设置在绝缘支撑层(5)的外表面，环形线圈层(7)设置在绝缘材料层(8)的外表面，环形线圈层(7)从内到外依次设置环形线圈(13、12、10、11)，电极层(6)中心设置公共电极(16)，从内向外依次设置8个沿圆周方向均匀布置的扇形检测加矩电极(14)、18个沿圆周方向均匀布置的扇形旋转电极(15)；下定子(3)设置电极层(18)、绝缘支撑层(17、20)、介磁材料层(21)、环形线圈层(19)，绝缘支撑层(17、20)设置在介磁材料层(21)的上下表面，电极层(18)设置在绝缘支撑层(17)的外表面，环形线圈层(19)设置在绝缘支撑层(20)的外表面，环形线圈层(19)从内到外依次设置环形线圈(25、24、22、23)，电极层(18)中心设置公共电极(28)，从内向外依次设置8片沿圆周方向均匀布置的扇形检测加矩电极(26)、18个沿圆周方向均匀布置的扇形旋转电极(27)；转子(2)为外齿转子或者内含齿转子。
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