[发明专利]同轴对准垂向扫描长度的自适应优化方法有效
| 申请号： | 200510110726.1 | 申请日： | 2005-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1790166A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 朱正平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种同轴对准垂向扫描长度的自适应优化方法，其特征在于包括如下步骤：(a)确定垂直方向图像最大有效值及最小有效值；(b)进行对准扫描，得到垂直方向采样点数；(c)对准扫描结束后，根据传感器采样得到的数据进行计算，确定实测图像的最大值与最小值；(d)当实测图像最大值与最小值都在正常值范围内，则更新图像垂直方向图像最大有效值及最小有效值后返回步骤(b)，重新进行对准扫描；(e)当实测图像最大值与最小值不在正常值范围内，则直接返回步骤(b)，重新进行对准扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 同轴 对准 扫描 长度 自适应 优化 方法 | ||
【主权项】：
1、一种同轴对准垂向扫描长度的自适应优化方法，其特征在于包括如下步骤：(a)确定垂直方向图像最大有效值及最小有效值；(b)进行对准扫描，得到垂直方向采样点数；(c)对准扫描结束后，根据传感器采样得到的数据进行计算，确定实测图像的最大值与最小值；(d)当实测图像最大值与最小值都在正常值范围内，则更新图像垂直方向图像最大有效值及最小有效值后返回步骤(b)，重新进行对准扫描；(e)当实测图像最大值与最小值不在正常值范围内，则直接返回步骤(b)，重新进行对准扫描。
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