[发明专利]一种p型或n型氧化锌薄膜及其制备方法

摘要

本发明属功能材料技术领域，具体为一种p型/n型氧化锌薄膜及其制备方法。该薄膜的制备过程是：采用硅(100)作为基底，将其在一水平放置的石英管中加热到设定温度，在将盛有醋酸锌的陶瓷舟推入石英管加热，使其挥发分解，利用空气作为载运气体，将醋酸锌蒸汽输运至硅基底，使其分解沉积成膜。此方法制备的ZnO薄膜具有高载流子浓度，低电阻率特性，且可以通过温度控制，选择制备p型或n型薄膜。

主权项

1、一种p型或n型宽禁带氧化锌薄膜，其特征在于为透明多晶，具有六方纤锌矿或红锌矿结构，厚度为100～1500nm，电阻率低达10-2Ωcm，p型薄膜载流子浓度高达1018cm-3，n型薄膜载流子浓度高达1019cm-3，并有下述制备方法获得：将基底放入一水平放置的石英管中，加热至设定温度350-550℃，再将装有锌源的陶瓷舟推入此石英管中，使之蒸发，并通入载运气体，将蒸气疏运至基底，经过沉积过程，在基底上得到氧化锌薄膜；其中，基底为硅片，锌源为醋酸锌，载运气体为空气。