[发明专利]一种步进扫描投影光刻机多总线时序同步控制方法

摘要

本发明公开了一种步进扫描投影光刻机多总线时序同步控制方法，通过同步总线控制器为所有扫描曝光涉及的控制单元提供统一的时间基准。曝光控制软件通过工控机CPU板的VME总线接口把扫描参数传递给同步总线控制器，同步总线控制器按照工控机CPU板指定的参数，通过多总线的同步控制体系，实现对各个控制单元的精准同步控制。其有益效果是可严格控制各个同步信号的触发时间，从而实现了各个控制单元之间信号的实时和同步。

主权项

1.一种步进扫描投影光刻机多总线时序同步控制方法，其特征在于包括以下步骤：(1)上位机软件通过用户输入和设置将曝光参数输出到包含同步总线控制器的工件台掩模台实时操作系统中。(2)工件台掩模台实时操作系统把曝光参数转换成各种所需的同步控制关系。(3)工件台掩模台实时操作系统通过VME总线把同步控制关系传送给同步总线控制器。(4)同步总线控制器按照给定的同步控制关系转换成实际的同步数据总线信号，保证激光计数卡和运功控制卡的伺服间隔同步和状态同步。(5)同步总线控制器按照给定的同步控制关系转换成实际的外部同步信号，保证曝光照明控制系统和对准控制系统的状态同步。(6)运动控制卡接收到同步控制器的伺服间隔同步和状态同步信号，产生中断给运动控制卡的高速数据处理芯片进行实时同步处理和伺服控制处理。运动控制卡以伺服间隔作为伺服采样周期。(7)运动控制卡接收到同步总线控制器的伺服间隔同步信号和状态同步信号，分别转换成光纤触发信号(TRGGER)和状态信号，发送给下层I/O控制板，保证下层I/O控制板伺服间隔同步和状态同步。(8)运动控制卡接收到同步总线控制器的伺服间隔同步信号和状态同步信号，分别转换成光纤触发信号(TRGGER)和状态信号，发送给调平调焦控制系统和对准控制系统，保证这两个分系统的伺服间隔同步和状态同步。(9)下层I/O控制板、对准控制系统和调平调焦控制系统接收到伺服间隔同步和状态同步信号，触发高速数据处理芯片进行实时同步处理。