[发明专利]高硬度ZrN/Al2(O1－xNx) 3纳米多层涂层

摘要

一种陶瓷材料技术领域的高硬度ZrN/Al₂ (O_1－xN_x) ₃纳米多层涂层。本发明由Al₂ (O_1－xN_x) ₃层和ZrN层交替沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上组成，Al₂(O_1－xN_x) ₃层的厚度为0.3～1.1nm，ZrN层的厚度为2～10nm，纳米多层涂层的总厚度为2～5μm。本发明的ZrN/Al₂ (O_1－xN_x) ₃纳米多层涂层可以采用在氩、氮混合气氛中的双靶反应溅射技术在抛光的金属、硬质合金或陶瓷基体表面交替沉积ZrN层和Al₂(O_1－xN_x) ₃层得到。本发明所得的ZrN/Al₂ (O_1－xN_x) ₃纳米多层涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有高于30GPa的硬度和超过1000℃的抗氧化温度。本发明作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。

主权项

1.一种高硬度ZrN/Al2(O1-xNx)3纳米多层涂层，其特征在于，由Al2(O1-xNx)3层(1)和ZrN层(2)交替沉积在基体(3)上组成，Al2(O1-xNx)3层(1)的厚度为0.3～1.1nm，ZrN层(2)的厚度为2～10nm，纳米多层涂层的总厚度为2～5μm。