[发明专利]一种可移植纳米级厚度的连续金膜及其制备方法和应用无效
申请号: | 200510111255.6 | 申请日: | 2005-12-08 |
公开(公告)号: | CN1786260A | 公开(公告)日: | 2006-06-14 |
发明(设计)人: | 徐伟;蓝碧健 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/14;C23C14/18;C23G1/00 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
地址: | 20043*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于纳米材料和薄膜材料技术领域,具体涉及一种可移植纳米厚度金膜及其制备方法和应用。用真空沉积法在云母基底上沉积一层几十纳米厚度的金膜,再用强酸或者有机溶液浸泡,可使金膜与基底脱离,形成可移植的自由金膜。这种可移植纳米级厚度的金膜可作为优良的声控震动膜和密封材料。此外,还适用于需要金属连接和保护但无法蒸镀的场合,尤其适用于纳米电子器件的制作和研究,有广泛的实用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 移植 纳米 厚度 连续 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1、一种可移植纳米级厚度的连续金膜,其特征在于厚度为20~90纳米;面积为0.1mm2~10cm2,可以移植,并由真空蒸镀成膜,然后利用强酸或有机溶液浸泡,使金膜与基底脱离而获得。
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