[发明专利]三维集成微机械加速度传感器及制作方法有效
| 申请号： | 200510111362.9 | 申请日： | 2005-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1821787A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 李昕欣;张鲲;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/12 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三维集成的高量程加速度传感器。其特征在于所述的三维加速度传感器是由三个相互独立的加速度传感元件集成一体构成的；X、Y轴方向的加速度传感元件的结构相同，其敏感方向在硅平面方向，两个相同结构的传感元件相互垂直排布；Z轴方向的加速度传感元件为另一种结构，其敏感方向为硅片的垂直方向，平行排布于X、Y轴方向的加速度传感元件的一侧；是采用MEMS常规工艺制作，且考虑了两种不同传感元件的工艺兼容问题，使制作的传感器三个方向的敏感元件没有窜扰现象，且可依要求设计出1－10万g的不同量程的三维高冲击加速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 集成 微机 加速度 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种三维集成的高量程加速度传感器，其特征在于所述的三维加速度传感器是由三个相互独立的加速度传感元件集成一体构成的；X、Y轴方向的加速度传感元件的结构相同，其敏感方向在硅平面方向，两个相同结构的传感元件相互垂直排布；Z轴方向的加速度传感元件为另一种结构，其敏感方向为硅片的垂直方向，平行排布于X、Y轴方向的加速度传感元件的一侧；其中X、Y轴方向的加速度传感元件是由悬臂梁、抗高过载冲击曲面、敏感电阻和硅框架构成，抗冲击高过载冲击曲面位于悬臂梁的上、下两个侧面；Z轴方向的加速度传感元件是由敏感薄板、质量块、敏感电阻和外框架构成，采用双端固支的双质量块结构。
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