[发明专利]液态化学品的加热方法和装置无效
| 申请号： | 200510111677.3 | 申请日： | 2005-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1987285A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 叶大军;李汉忠 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F24H1/14 | 分类号： | F24H1/14;F17D1/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液态化学品的加热方法，所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输，所述加热方法通过液体传热介质对所述液态化学品进行加热。本发明还提供了一种液态化学品的加热装置，包括：加热器，用于加热液体传热介质；换热器，用于将所述液体传热介质的热量传递至所述液态化学品；所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输。本发明尤其适用于常温下粘度大，而随着温度升高粘度迅速下降的液态化学品，例如铜腐蚀液ST250。本发明可以满足大流量加热的需求；可以实现精确加热，避免液态化学品温度超出范围，从而提高液态化学品的使用寿命；避免电加热器件直接接触易燃易爆的溶剂类化学品，从而大大提高加热过程的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 化学品 加热 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种液态化学品的加热方法，所述液态化学品需要通过加热以降低粘度来进行传输，其特征在于，通过液体传热介质对所述液态化学品进行加热。
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