[发明专利]一种蒸汽干燥系统及其排水装置和方法有效
| 申请号： | 200510111679.2 | 申请日： | 2005-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1987312A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 刘国平;房现飞;高志强;张阔森 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F26B3/02 | 分类号： | F26B3/02;H01L21/30;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸汽干燥系统，其包括蒸汽干燥槽和排水装置；该蒸汽干燥系统的排水装置包括：排放管；通路切换单元，其第一端连接于该排放管，用于将来自排放管的流体进行分流；第一排放通道，连接于该通路切换单元的第二端；第二排放通道，连接于该通路切换单元的第三端；控制单元，用于根据该蒸汽干燥系统的状态生成控制信号来控制该通路切换单元，选择性使得排放管连通第一排放通道或者第二排放通道。本发明还公开一种蒸汽干燥系统的排水方法。本发明根据系统的状态对其中的DIW进行分别排放，实现部分DIW的再循环利用，降低DIW的消耗量，提高晶片成本效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸汽 干燥 系统 及其 排水 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸汽干燥系统，包括蒸汽干燥槽、排放管；其特征在于，还包括：通路切换单元，其第一端连接于该排放管，用于将来自排放管的流体进行分流；第一排放通道，连接于该通路切换单元的第二端；第二排放通道，连接于该通路切换单元的第三端；控制单元，用于根据该蒸汽干燥系统的状态生成控制信号来控制该通路切换单元，选择性使得排放管连通第一排放通道或者第二排放通道。
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