[发明专利]提高触发效率的静电放电保护元件结构无效

专利信息
申请号: 200510111956.X 申请日: 2005-12-23
公开(公告)号: CN1988150A 公开(公告)日: 2007-06-27
发明(设计)人: 徐向明 申请(专利权)人: 上海华虹NEC电子有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/60
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 王洁
地址: 201026*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明一种静电放电保护元件结构,在Nch Buffer晶体管和阱控制的防护圈(guard-ring)之间插入一个N阱环,使得所有晶体管的体电阻都增大。在ESD发生时更容易进入击穿导通状态,而且也能使所有finger的晶体管都均匀动作,共同进入保护状态,从而达到更快更强的保护效果。
搜索关键词: 提高 触发 效率 静电 放电 保护 元件 结构
【主权项】:
1、一种静电放电保护元件结构,该NMOS元件结构形成于一衬底的P型阱上,所述NMOS元件结构包括一栅极,设于所述P型阱中;一第一N+扩散区域,设于该P型阱中,用来当作该NMOS元件结构的漏极;一第二N+扩散区域,设于该P型阱中,用来当作该NMOS元件结构的源极;一P+扩散区域,设于该P型阱中,作为防护圈,其特征在于:在P+防护圈和N+扩散区域之间设有一N阱环。
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