[发明专利]节能型直拉单晶炉无效
| 申请号： | 200510112026.6 | 申请日： | 2005-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1990916A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 周宁;周建国 | 申请（专利权）人： | 周宁;周建国 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201400上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种直拉单晶生长装置，属于半导体生长设备技术领域。它包括液压伺服系统调节坩埚杆；在加热控制单元中，三相平衡变压器、滤波电容器、电抗器和电阻器组合连接而成，与谐波源并联；它还具有变频充气装置。本发明克服现有的坩埚轴升降驱动装置不能有效的保证生产操控稳定性及精确度不够精确不足，克服现有的加热控制单元不能消除谐波的不足，同时也克服现有的坩埚轴升降驱动装置不能有效的保证生产操控稳定性及精确度不够精确不足。 | ||
| 搜索关键词： | 节能型 直拉单晶炉 | ||
【主权项】：
1、一种节能型直拉单晶炉，其特征在于：包括液压伺服系统调节坩埚杆；在加热控制单元中，三相平衡变压器、滤波电容器、电抗器和电阻器组合连接而成，与谐波源并联；它还具有变频充气装置。
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