[发明专利]一种精密定位和调整工装有效
| 申请号： | 200510112113.1 | 申请日： | 2005-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1794091A | 公开（公告）日： | 2006-06-28 |
| 发明（设计）人： | 刘育;张国韦;袁志扬;严天宏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种精密定位和调整工装，包括盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)，还包括平板(1)、圆环(3)和Rz调整装置(4)，圆环(3)由具有不同直径的阶梯状圆环组成并可通过其中一圆环的圆柱面及平面定位与平板(1)紧围安装在一起，Rz调整装置(4)安装在平板的槽面(104)中，定位轴(6)通过平板上销孔(101)定位及螺纹与盖板连接安装在平板上，盖板(2)通过螺纹连接安装在平板上，垫片(5)安装在定位轴(6)与平板(1)之间，盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)、和与它们连接最近的平板及圆环组成一套调节模块。有益作用是，保证了X、Y精度和Rz精度的定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 定位 调整 工装 | ||
【主权项】：
1.一种精密定位和调整工装，可将被安装件定位于基板上，包括盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)，其特征在于：还包括平板(1)、圆环(3)和Rz调整装置(4)；圆环(3)由具有不同直径的阶梯状圆环组成，并可通过其中一圆环的圆柱面及平面定位与平板(1)紧固安装在一起，Rz调整装置(4)安装在平板的槽面(104)中，定位轴(6)通过平板上销孔(101)定位及螺纹与盖板连接安装在平板上，而盖板(2)通过螺纹连接安装在平板上，垫片(5)安装在定位轴(6)与平板(1)之间，定位轴(6)辅助定位被安装件的连接部分柔性块(7)，使后者可定位于基板上，盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)、和与它们连接最近的平板及圆环组成一套调节模块，而与平板(1)及圆环(3)所连接的盖板(2)、垫片(5)和定位轴(6)数目可为三个或大于三个。
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