[发明专利]实时监控有效显影液浓度的方法无效
| 申请号： | 200510112266.6 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1996152A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 徐华伟 | 申请（专利权）人： | 上海广电NEC液晶显示器有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 201108上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实时监控有效显影液浓度的方法，该方法为：通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，其特征在于：用分光光度法测量碳酸根浓度[CO32－]，再通过式I计算出有效显影液浓度[TM]：式I [TM]＝[TM′]－2[CO32－]。通过本发明的方法可以简单地、有效地、更准确地测量出显影液的实际浓度；本发明的方法还可适用于液晶、半导体光刻制程中的显影液浓度实时监控和管理。 | ||
| 搜索关键词： | 实时 监控 有效 显影液 浓度 方法 | ||
【主权项】：
1、一种实时监控有效显影液浓度的方法，该方法为：通过测量导电率来测量表观显影液浓度[TM′]，其特征在于：用分光光度法测量碳酸根浓度[CO3 2-]，再通过式I计算出有效显影液浓度[TM]：式I [TM]＝[TM′]-2[CO3 2-]。
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