[发明专利]真空机械手用防滑盘头及其操作方法无效
申请号: | 200510112270.2 | 申请日: | 2005-12-28 |
公开(公告)号: | CN1994691A | 公开(公告)日: | 2007-07-11 |
发明(设计)人: | 曹阳 | 申请(专利权)人: | 上海广电NEC液晶显示器有限公司 |
主分类号: | B25J15/06 | 分类号: | B25J15/06 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 薛琦 |
地址: | 201108上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空机械手用防滑盘头,其中该防滑盘头的材质为氟素弹性体。本发明还公开了一种真空机械手用防滑盘头的操作方法,该方法为在高真空状态下,防滑盘头以48.2度/秒2的加速度,再以63.6度/秒的速度,最后以48.2度/秒2的减速度搬送玻璃基板。本发明通过更换防滑盘头的材质和/或改变真空机械手的动作速度来有效提高玻璃基板处理枚数。 | ||
搜索关键词: | 真空 机械手 防滑 盘头 及其 操作方法 | ||
【主权项】:
1、一种真空机械手用防滑盘头,其特征在于该防滑盘头的材质为氟素弹性体。
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