[发明专利]作为热释电材料的反铁电薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种具有可调工作温区、大热释电系数的反铁电薄膜及其制备方法和应用。本发明所述的作为热释电材料的反铁电薄膜(Pb，La或Nb)(Zr，Sn，Ti)O₃，其采用溶胶凝胶法配制，前驱体溶液的溶质为醋酸铅、醋酸镧La或乙醇铌、醋酸锡、异丙醇锆和异丙醇钛，溶剂为冰醋酸、乙二醇乙醚、乙酰丙酮和水，前驱体溶液的最终浓度控制在0.2－0.4M之间，衬底是LaNiO₃/Pt/Ti/SiO₂/Si和Pt/Ti/SiO₂/Si。本发明所述的反铁电薄膜具有高的热释电流，并且温度可调，可用于红外热释电探测器、机敏器件和系统。

主权项

1、一种作为热释电材料的反铁电薄膜(Pb，La或Nb)(Zr，Sn，Ti)O3，其采用溶胶凝胶法配制，前驱体溶液的溶质为醋酸铅、醋酸镧La或乙醇铌、醋酸锡、异丙醇锆和异丙醇钛，溶剂为冰醋酸、乙二醇乙醚、乙酰丙酮和水，前驱体溶液的最终浓度控制在0.2-0.4M之间，衬底是LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si和Pt/Ti/SiO2/Si。