[发明专利]溶剂的回收装置及溶剂的回收方法有效
| 申请号： | 200510112905.9 | 申请日： | 2005-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1939567A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 川濑泰人;青岛芳之;山内阳一;水野直宏;小田昭昌;五十岚轨雄;增田义登 | 申请（专利权）人： | 日本瑞环株式会社;松下环境空调工程技术株式会社 |
| 主分类号： | B01D3/00 | 分类号： | B01D3/00;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种溶剂的回收装置及溶剂的回收方法，即使不补充电子级的溶剂，也可从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中，回收高浓度的溶剂。一种溶剂的回收装置(1)，是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液(L)中回收溶剂的装置，包括：一树脂成分除去装置(10)，除去包含于上述废液中的树脂成分；一第一蒸馏塔(20)，除去包含于废液(L)中的低沸点杂质；一第二蒸馏塔(30)，除去包含于废液(L)中的高沸点杂质；以及一溶剂储存槽(51)，对上述第一蒸馏塔(20)及上述第二蒸馏塔(30)中的一方或双方补充工业级溶剂(L7)。 | ||
| 搜索关键词： | 溶剂 回收 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溶剂的回收装置，是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中回收溶剂的装置，包括：一树脂成分除去装置，除去包含于上述废液中的树脂成分；一溶剂成分精制装置，精制包含于上述废液中的溶剂成分；以及一溶剂成分补充装置，向供给至上述溶剂成分精制装置的废液中补充溶剂成分。
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