[发明专利]曲状狭缝阀门有效
| 申请号： | 200510113224.4 | 申请日： | 2005-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1755175A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | Y·塔纳斯;B·C·梁;G·S·刘易斯;D·E·伯克斯齐瑟 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/20 | 分类号： | F16K1/20;F16K1/226;F16K1/36;F16K51/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了用于密封腔室中的一基片转移通道的装置的实施例。在一个实施例中，用于密封腔室中的基片转移通道的装置包括一个细长的门构件，该门构件具有一凸出的密封面和一背面。在另一个实施例中，提供了一种具有用于密封基片转移通道的装置的腔室，该腔室包括：一个具有内部容积的腔室主体；至少一个被确定为穿过腔室主体的基片进出口，它被构造成允许大面积的基片穿过其中；以及一个门构件，该门构件具有一个凸出的密封面，它可以在覆盖基片转移开口的一第一位置和越过基片转移开口的第二位置之间移动。在又一个实施例中，腔室主体可以是一个载荷锁定腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 阀门 | ||
【主权项】：
1.一种用于密封一腔室内的一基片转移通道的装置，它包括：一个具有一凸起的密封面和一背面的细长门构件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510113224.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液晶显示装置
- 下一篇：用于含卤素的烯类聚合物的热稳定剂组合物
