[发明专利]低电感等离子室的设备及其方法无效
| 申请号： | 200510113260.0 | 申请日： | 2005-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1770950A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | C·A·索伦森;J·M·怀特;S·安瓦尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张政权 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在某些方案中，本发明提供一种等离子室，它具有：(1)尺寸至少为1.8米×2.0米的室；(2)感抗不大于12欧姆至15欧姆的有效电感。该等离子室可以用于，例如，加工平板显示器的衬底。本发明还提供其他多种方案。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 等离子 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子室，包括：尺寸至少为1.8米×2.0米的室；和一感抗不大于12欧姆至15欧姆的有效电感。
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