[发明专利]终点检测器及颗粒监测器

摘要

一种基材处理系统，其包括一真空沉积处理室，该处理室具有一排气出口，用以在一沉积循环中排放一或多种颗粒及在一清洁循环中排放清洁气体反应物；及一原位颗粒监测器，其耦接至排气出口。原位颗粒监测器设置成可决定清洁循环的一起始点。等离子强化的化学气相沉积室更包括一红外光终点检测器组件，其耦接至排气出口。红外光终点检测器组件设置成可决定清洁循环的一终点。

主权项

1.一种基材处理系统，包含一真空沉积处理室，其具有一排气出口设置成可在一沉积循环期间排放一或多种颗粒及在一清洁循环期间排放一或多清洁气体反应物；一原位颗粒监测器，其耦接至排气出口，其中原位颗粒监测器设置成可决定该清洁循环的一起始点；及一红外光终点检测器组件，其耦接至排气出口，其中红外光终点检测器组件设置成可决定该清洁循环的一终点。