[发明专利]信息记录介质检查装置和方法无效
| 申请号： | 200510113505.X | 申请日： | 2005-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1776413A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 远山敬一;野路伸治;吉川省二 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N21/892 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 夏青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检查装置，其中电子枪(12)利用电子束照射信息记录介质上的所希望的位置。载物台(18)保持信息记录介质，使得信息记录介质可以沿旋转方向和径向方向移动。检测器(22)通过利用电子束照射信息记录介质，来检测已经获得信息记录介质之表面的信息的电子。图像产生单元(24)根据由检测器(22)检测的电子来获得信息记录介质之表面的图像。检查装置可以检查是否诸如CD和DVD的信息记录介质上存储缺陷，而且可以检查其缺陷的形状。检查装置还可以检查具有大存储容量的信息记录介质。 | ||
| 搜索关键词： | 信息 记录 介质 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种信息记录介质检查装置，用于检查信息记录介质的外观，包括：电子枪，用于利用电子束照射所述信息记录介质的所希望的位置；载物台，用于保持所述信息记录介质，使得所述信息记录介质可沿旋转方向和径向方向移动；检测器，用于通过利用所述电子束照射所述信息记录介质，来检测已经获得所述信息记录介质之表面的信息的电子；和图像产生单元，用于根据由所述检测器检测的所述电子，来获得所述信息记录介质之所述表面的图像。
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