[发明专利]位置检测装置和方法

摘要

一种位置检测装置，包括：入射单元，其用来从光源的光束形成平行光束，并以由光束分离器从平行光束获得的分离光束分别被以某一角度入射到基准面和测量目标表面的方式将平行光束提供给光束分离器；用来反射分离光束的反射单元，所述分离光束已经被基准面和测量目标表面反射并通过光束分离器结合到光路上，以作为沿着光路的平行光束提供给光束分离器，并通过干涉从所述反射单元提供、由光束分离器分离、由基准面和测量目标表面反射并被所述光束分离器再次结合到光路上的返回光束来产生相应于分离光束的相位差的信号。

主权项

1、一种位置检测装置，包括：光束分离器，其被配置用来分离平行入射光束并分别将分离的光束提供给参考面和测量目标表面；入射单元，其从光源的光束形成平行光束并将平行光束提供给所述光束分离器，以便由所述光束分离器分离的分离光束分别被以某一角度入射到参考面和测量目标表面；反射单元，其用来反射分离的光束，所述分离的光束已经被基准面和测量目标表面反射并通过所述光束分离器结合到光路，作为沿着光路的平行光束被提供给所述光束分离器；和产生装置，其用来通过干涉从所述反射单元提供、由所述光束分离器分离、由基准面和测量目标表面反射并被所述光束分离器再次结合到光路上的返回光束来产生相应于分离光束的相位差的信号。