[发明专利]等离子体反应腔

摘要

本发明公开了一种等离子体反应腔，包括第一极板、第二极板、挡板及固定框。第二极板位于第一极板之上，并且具有多个气体扩散孔。挡板环绕于第二极板边缘，固定框则安装于第二极板与挡板之接合部位的下表面。固定框包括金属本体包覆于熔射涂层之内，且熔射涂层包含绝缘材料。当第二极板与挡板靠合并以固定框固定时，以熔射涂层将金属本体与第二极板隔开。

主权项

1.一种等离子体反应腔，包括：第一极板；第二极板，位于该第一极板之上，具有多个气体扩散孔；挡板，环绕于该第二极板边缘；以及固定框，安装于该第二极板与该挡板的接合部位的下表面，该固定框包括金属本体包覆于熔射涂层之内，其中该熔射涂层包含绝缘材料，当该第二极板与该挡板靠合并以该固定框固定时，该熔射涂层将该金属本体与该第二极板隔开。